◇用地、生産変更、顧客の協力…／３つの「好条件」が奏功

　ＴＳＭＣはトヨタ自動車、デンソー、ソニーセミコンダクタソリューションズ（ＳＳＳ）を少数出資者として迎え入れ、ジャパン・アドバンスト・セミコンダクター・マニュファクチャリング（ＪＡＳＭ）を熊本県菊陽町に設立、２０２４年２月２４日には開所式を行った。ＴＳＭＣが熊本を選定した理由について、豊富な電力や水資源を挙げる方が多いが、実際には微妙にニュアンスが異なる。今回は、半導体エンジニア情ポヨ氏による半導体産業側の視点で、熊本選定の理由を探りたい。

　ＴＳＭＣの熊本選定理由は、様々な要素が挙げられる。１つ目は、ＴＳＭＣの最大顧客であるＳＳＳが好条件の土地を確保しており、ＴＳＭＣはそのまま活用することができた点である。半導体工場の立地選定に当たっては、人材確保や電力・水インフラの整備等、多くの要件をクリアする必要がある。ＪＡＳＭ熊本工場の土地は、本来ＳＳＳが熊本テクノロジーセンター拡張に向けて確保していた工業団地であった。ＴＳＭＣはＳＳＳが確保していた土地をそのまま流用することで、前述の要件に合致した土地を探す必要がなくなった。これは半導体事業者の便益が非常に大きく、最大の要因であると指摘できるだろう。

　２つ目に、ＴＳＭＣはＳＳＳ向け生産ラインを台湾に整備予定であった点である。ＴＳＭＣは台湾・台南市の南部科学園区に所在するＦａｂ１４にＳＳＳ専用ラインを整備予定だったが、経済産業省・ＳＳＳ・ＴＳＭＣ・台湾当局による協議・連携により、ＴＳＭＣは計画を変更して熊本にＳＳＳ専用ラインを設置した。熊本誘致の実現は、関係機関による緻密な連携のたまものであり、奇跡的と言えるだろう。

　３つ目に、ＳＳＳの全面的な協力が挙げられる。ＴＳＭＣは米国・アリゾナ州でも工場建設を進めているが、労働条件等の文化の違いもあり、予定より遅延している。他方ＪＡＳＭでは、２００１年より熊本で操業しているＳＳＳの全面的な協力もあり、建設は予定通り進んだ。ＳＳＳとの協力関係は環境面でも生かされた。今回、ＳＳＳのノウハウと地元自治体との協力体制が生かされ、ＳＳＳが実施している涵養（かんよう）を含めた環境対策はＪＡＳＭも採用している。ＴＳＭＣが日本の環境基準を遵守していないといった指摘があるが、熊本にて２０年以上半導体工場を操業しているＳＳＳが全面的に協力した結果だと考える方が自然であろう。

米アップルが訪問

　２２年１２月に米・アップル社のティム・クックＣＥＯが熊本を訪問したが、情ポヨ氏はクックＣＥＯの熊本訪問の目的は観光ではなく、今回のＪＡＳＭ建設の状況確認であったと考えている。アップル社はＴＳＭＣ・ＳＳＳ両社にとって最大の顧客である。

車載向けにも拡張

　課題もあった。ＪＡＳＭが生産をＳＳＳ向けのロジック２２ナノメートル／２８ナノメートルノードに限定した場合、国が掲げる「サプライチェーン強化」目的の達成には不十分である。そのため出資者としてデンソーを迎え入れ、車載半導体向けを念頭に置いたロジック１２ナノメートル／１６ナノメートルノードの製造を決定した。さらに今年２月６日にはＪＡＳＭ熊本工場の拡張と、ロジック６ナノメートルノード（蘭ＡＳＭＬ社のＥＵＶ露光機を使用）からロジック４０ナノメートルノードまで幅広く製造すること、トヨタ自動車も少数出資者として参画することが発表された。

　トヨタ自動車の出資は、日本としてＴＳＭＣ熊本進出が非常に重要であることを印象付け、今後の工場拡張をバックアップする意味合いもあると考えられる。

◆用語解説

　ＥＵＶ露光機 =半導体製造の前工程は薄膜形成工程、リソグラフィー工程、エッチング工程、不純物添加工程に分けられるが、リソグラフィー工程は（１）フォトレジスト塗布（２）露光（３）現像――の３工程に分けられる。ＥＵＶ露光機は（２）の露光工程で活用される機材であり、光源はＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦ液浸などが挙げられるが、ＥＵＶ光は波長が短く、最も微細なパターンを露光できる。ＥＵＶ露光機はＡＳＭＬ社だけが量産に成功している。

電気新聞２０２４年４月１５日