ＮＧＫ（旧日本ガイシ）は２４日、半導体製造装置用セラミックスの生産能力を増強するため、石川県能美市に新工場を建設すると発表した。同社の自動車関連製品工場に隣接する約１０万４千平方メートルの土地を取得。約７１５億円を投じ、半導体製造装置用セラミックスの生産能力を２割ほど増強する。２０２９年１０月に量産を開始する計画だ。
新工場で生産するのは半導体製造装置の内部で半導体材料のシリコンウエハーを支持するセラミック製の機能部品。高い耐腐食性を持ち、成膜で使用される高温の腐食性ガスやプラズマに対して安定…
