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日立、MEMS加速度センサーを開発/資源探査など実用化へ

2018/01/23  4面 

 日立製作所は22日、資源探査などに活用できる高感度・低消費電力のMEMS(微小電気機械システム)加速度センサーを開発したと発表した。MEMS内部の「重り」構造や回路による制御・検出に独自の方式を採用。資源探査に使われる従来のセンサーと同水準の高感度で、消費電力を半分以下に抑えられる。今後は実使用に近い環境で性能を確認し、2020年頃の実用化を目指す。



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